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TEC溫控系統 產品介紹 ETS-TEC-150是一款應用于光電器件測試探針臺的6英寸晶圓溫控系統，溫度范圍為-20℃到100℃，主要由變溫卡盤和溫度控制器組成。系統具有寬泛的溫度控制范圍、緊湊的冷卻套件、高溫度精度與穩定性控制等特性，廣泛應用于6英寸及以下尺寸的半導體器件或晶圓的變溫電學性能關鍵參數分析。
關鍵特征 Ø帕爾貼元件快速降溫 Ø溫度范圍為-20℃到100℃ Ø 模塊化系統，適合單獨測試的需要 Ø冷卻劑占地面積小，節省空間 Ø兼容各大主流生產型或分析型探針臺 Ø可集成全套的軟硬件于一體 應用場景 ØCascade 探針臺溫控升級 ØMPI 探針臺溫控升級 Ø全自動探針臺高低溫升級 Ø手動探針臺溫控升級 規格參數
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